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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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閱讀：191 發布時間：2020/11/25
如何改善我們的旋轉涂層？
有三個建議可以幫助您改善旋涂技術和終涂層質量。
01 嘗試動態分配
通過將化學物質動態分配到旋轉的基材上，可提高涂層的質量和可重復性。
02 使用注射器適配器
使用注射器適配器提高手動分配的準確性。
03 準確的將基材放在托盤上
偏心的基材會引起振動，影響涂層質量，用晶圓對準器以及用于方形和矩形基材的嵌入式托盤方案。
? 如何進行故障排除，優化實驗過程？
01清潔基材
完整的清潔過程應解決所有形式的污染。
02顆粒污染
我們的勻膠機旨在*地減少顆粒的產生。
03化學污染
殘留在晶圓上的化學污染會影響旋涂工藝，圖片顯示了由看不見的污染點產生的涂層中的空隙。
04排氣-旋涂
對于簡單的旋涂程序，排氣可將腔室內的化學蒸汽帶走。我們的勻膠機有多種選配件，可滿足更苛刻的要求。
05排氣-蝕刻，顯影和清潔
在EDC系統進行水處理時，正確的排氣量更為重要。所有可能的輸入，化學試劑，去離子水，干燥氣體必須與足夠的廢氣保持平衡。這樣可防止在處理室中產生超壓環境，并迅速清除多余的水分。
06清潔您的勻膠機
如果希望獲得Z佳的旋涂效果，應在每次操作結束時對勻膠機進行清潔。
